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Mit Laser-Interferometer wird der Verlauf der Auslenkung, der zugeführten Spannung und die Stromaufnahme mit einer Samplingrate von mehreren 100 kHz und einer Auflösung von wenigen nm Auslenkung gemessen.

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Piezo-Endmessautomat

Vollautomatische Anlage zur Prüfung von Piezoaktoren.